文摘
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结果表明,在形成沉积层时,由于离子轰击作用已不存在,使渗层厚度减少26%,用朗谬尔探针对双层辉光离子钨钼共渗过程进行了等离子体的诊断,等离子体对表面成分有较大影响.合理的等离子体密度范围为5×10~(11)~3×10~(12)cm~(-3). |
来源
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材料科学与工艺
,2000,8(1):55 【扩展库】
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关键词
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离子轰击
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渗层厚度
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表面成分
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等离子体密度
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地址
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1.
中科院力学所, 北京, 100080
2.
太原理工大学表面工程研究所, 山西, 太原, 030024
3.
首都师范大学化学系, 北京, 100037
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语种
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中文 |
文献类型
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研究性论文 |
ISSN
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1005-0299 |
学科
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金属学与金属工艺 |
基金
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山西省青年科学基金
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文献收藏号
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CSCD:547841
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