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用Hopkinson杆冲击加载研究高量程微加速度计芯片的抗过载能力
Study of Shock-resistibility of High-g Microaccelerometer Chip Through Impact Using Hopkinson Bar

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郇勇 1   张泰华 1   杨业敏 1   曾昭君 2  
文摘 采用体硅微机械加工技术制作田字形结构的高量程微加速度计芯片。为了研究芯片的抗过载能力，使用Hopkinson杆对其施加冲击载荷，以一维应力波理论估计芯片受到的加速度。结果显示，芯片破坏的临界载荷为200kg-no裂纹和断裂主要发生在十字架中心、边框的4个角以及十字梁和边框的连接部位。
其他语种文摘 Cross-shaped ,high-g microaccelerometer chips have been developed using silicon micromachining techniques .In ordert to determine the Shock-resistibility of the chip ,tests were performed using Hopkinson bar .The acceleration was estimated according to the theory of one-dimensional stress wave .The results show that the critical load resulting in in chip failure is about200,000g-n.Cracks concentrate on the center of cross ,comers of frame and juncture between cross and frame.
来源 传感技术学报 ,2003,16(2):128-131 【核心库】
关键词 微加速度计 ; Hopkinson ; 杆 ; 抗过载能力
地址

1. 中国科学院力学研究所非线性力学, 北京, 100080  

2. 北京大学微电子学研究所, 北京, 100871

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1004-1699
学科 自动化技术、计算机技术
基金 国家自然科学基金 ;  中国科学院知识创新工程项目 ;  国防科工委“十五”预研项目
文献收藏号 CSCD:1356280

参考文献 共 5 共1页

1.  黄全平. 高量程微机械压阻式加速度传感器研究,2001 CSCD被引 4 次    
2.  Danelle M. Sanjose IEEE international Reliability Physics Symposium CA,2000:129-138 CSCD被引 1 次    
3.  夏开文. SHPB装置应用于测量高温动态力学性质的研究. 实验力学,1998,13(3):307-313 CSCD被引 15 次    
4.  李玉龙. 高g值加速度传感器校准系统的研究. 爆炸与冲击,1997,17(1):90-96 CSCD被引 30 次    
5.  Ueda K. Experimental Mechanics,1993,8(2):228-233 CSCD被引 3 次    
引证文献 10 篇

1 孙远程 微机械高冲击传感器的一种失效模式研究 传感技术学报,2006,19(5A):1610-1612
CSCD被引 1 次

2 徐鹏 CPLD芯片抗高g值冲击性能分析 振动与冲击,2007,26(1):148-150
CSCD被引 9 次

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