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文摘
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介绍了一种基于质量流量混合法的实时动态配气系统.该系统采用了高精度的质量流量控制器,可用于配制各种低浓度的标准气体,以满足工业应用和科学研究中标准气体的需求. |
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其他语种文摘
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This paper introduces a realtime and dynamic gas confection system based on the method of mass flow mix .This system applying high precision Mass Flow Controller (MFC) can be used for confecting kinds of low concentration standard gas, to supply standard gas for industry and science research . |
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来源
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微计算机信息
,2009,25(5):13-14 【扩展库】
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关键词
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质量流量混合法
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质量流量控制器
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配气系统
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地址
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中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1008-0570 |
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学科
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自动化技术、计算机技术 |
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文献收藏号
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CSCD:3609970
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