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新型多有源区隧道再生光耦合大功率半导体激光器

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廉鹏 1   殷涛 1   高国 1   邹德恕 1   陈昌华 1   李建军 1   沈光地 1   马骁宇 2   陈良惠 2  
文摘 针对大功率半导体激光器面临的主要困难,提出并实现了一种隧道再生多有源区耦合大光腔高效大功率半导体激光器机理。该机理能有效地解决光功率密度过高引起的端面灾变性毁坏、热烧毁和光束质量差等大功率激光器存在的主要问题。采用低压金属有机化合物气相淀积方法生长了以碳和硅作为掺杂剂的GaAs隧道结、GaAs/InGaAs应变量子阱有源区和新型多有源区半导体激光器外延结构,并制备了高性能大功率980nm激光器件。三有源区激光器外微分量子效率达2.2,2A驱动电流下单面末镀膜激光输出功率高达2.5W。
来源 物理学报 ,2000,49(12):2374 【核心库】
DOI 10.7498/aps.49.2374
关键词 半导体激光器 ; 大功率 ; 金属有机化合物气相沉积
地址

1. 北京工业大学电子工程系和北京市光电子技术实验室, 北京, 100022  

2. 中科院半导体所, 北京, 100083

语种 中文
ISSN 1000-3290
学科 电子技术、通信技术
基金 国家自然科学基金 ;  北京市自然科学基金
文献收藏号 CSCD:782812

参考文献 共 3 共1页

1.  Chen T R. Appl Phys Lett,1990,57:2762 被引 2    
2.  沈光地. 第四界海峡两岸中华光电子学术研讨会报告,1999:93 被引 1    
3.  廉鹏. 半导体学报,2000,21:441 被引 1    
引证文献 21

1 鲁鹏程 隧道再生大功率半导体激光器瞬态热特性研究 中国激光,2004,31(5):518-522
被引 12

2 鲁鹏程 隧道再生大功率半导体激光器模式特性分析 功能材料与器件学报,2004,10(3):395-398
被引 0 次

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