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Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论
查看参考文献12篇
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文摘
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重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过以两个无量纲数-Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含 的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。 |
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来源
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力学进展
,2000,30(4):529 【核心库】
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关键词
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MEMS
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尺度效应
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表面效应
;
微尺度粘着接触
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Tabor数
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粘着数
;
晶片键合
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地址
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中科院力学所, 非线性连续介质力学开放实验室, 北京, 100080
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1000-0992 |
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学科
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力学 |
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基金
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国家自然科学基金国家杰出青年科学基金
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国家973计划
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香港科技大学种子经费
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文献收藏号
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CSCD:703616
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参考文献 共
12
共1页
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