透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究

裴志亮谭明晖陈猛孙超黄荣芳闻立时

文摘	用磁控反应溅射法制备了ZnO:Al(简称ZAO)薄膜，研究了薄膜方块电阻空间分布的均匀性及微观形貌，并对ZnO:Al薄膜表面各元素的化学状态和深度分布进行了XPS和AES分析，同时也讨论了薄膜的光学电学性能。
来源	金属学报 ,2000,36(1):72 【核心库】
关键词	ZnO:Al薄膜 ; 电阻空间分布 ; 光电性能
地址	中科院金属所, 辽宁, 沈阳, 110015
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0412-1961
学科	物理学
基金	辽宁省沈阳市科技攻关项目
文献收藏号	CSCD:675485

参考文献共 4 共1页

引证文献 6 篇

1 孙超透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性材料研究学报,2002,16(2):113-120
被引 11 次

2 赵大庆 P型CuAlO2半导体陶瓷的烧结研究粉末冶金技术,2004,22(6):333-336
被引 3 次

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