负偏压在电弧离子镀沉积TiN/TiCN多层薄膜中的作用

黄美东 ¹ 林国强 ¹ 董闯 ¹ 孙超 ² 蒋长荣 ² 黄荣芳 ² 闻立时 ²

来源	金属热处理 ,2001,26(7):17 【核心库】
关键词	电弧离子镀 ; 负偏压 ; 多层薄膜
地址	1. 大连理工大学, 三束材料改性联合国家重点实验室, 辽宁, 大连, 116024 2. 中科院金属所, 辽宁, 沈阳, 110016
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0254-6051
学科	金属学与金属工艺
文献收藏号	CSCD:674485

参考文献共 7 共1页

	1. 韩立民. 等离子热处理,1997:178	被引 3 次
	2. 胡树兵. 多弧离子镀TiN涂层在冲孔冲模上的应用. 金属热处理,1997(2):16	被引 14 次
	3. 吴玉广. 新技术新工艺,1997(1):44	被引 1 次
	4. 王福贞. 金属热处理,1994(5):17	被引 2 次
	5. 宫秀敏. TiN多弧离子镀涂层质量与X射线衍射图谱. 金属热处理,2000(7):32	被引 6 次
	6. Wagendriste A. Thin Solid Films,1987,154:199	被引 1 次
	7. 阎鹏勋. 金属学报,1994,30(11):B504	被引 1 次

引证文献 7 篇

1 邹建新钢的强流脉冲电子束表面快速渗铝及其抗氧化性能大连理工大学学报,2003,43(5):555-560
被引 4 次

2 邹建新 H13钢电弧沉积铝膜及强流脉冲电子束后处理的复合改性研究真空科学与技术学报,2003,23(2):91-95
被引 0 次

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