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离轴非球面的条纹反射检测技术
The off‐axis aspheric mirror testing based on the fringe reflection technique

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文摘 条纹反射测量技术具有动态范围大、灵敏度高的特点,通过高精度的系统标定可以获得很高的测量精度.本文研究将条纹反射测量技术应用于离轴非球面反射镜粗抛光阶段的面形检测,使用激光跟踪仪建立检测系统坐标系,然后将相机和显示屏的实测标定数据代入坐标系并在Zemax软件中建立测量装置的理想模型,通过光线追迹得到理想的屏幕像素点位置,采用相移技术可以得到实测时屏幕像素点位置,从而计算得到被测镜面形的斜率误差,最后积分得到检测结果.文中采用该方法对一块SiC离轴非球面镜进行了实测,并与三坐标测量机的结果进行对比,验证了方法的可行性,可用于指导离轴非球面镜粗抛光阶段的加工.
其他语种文摘 In this paper, the FRT (fringe reflection technique) is used for the off-axis aspheric surface measurement during the manufacture stage of the beginning of polish, duo to its advantage of large dynamic range and high sensitivity. The measurement system coordinate and ray trace model are build using the laser tracker, and the calibration results of the camera calibration and screen calibration are introduced into the Zemax model and the ideal screen pixel point position can be got by ray tracing. The measurement of screen pixel point position is obtained by phase-shifting technique. The slope error of the surface is calculated and final results are got by integration. The measurement results of a SiC off-axis mirror obtained by the presented method and the CMM are compared and feasibility is verified. This method can be used to guide the manufacture of off-axis aspheric surface during the beginning of the polish.
来源 光电工程 ,2018,45(7):170663-1-170663-8 【核心库】
DOI 10.12086/oee.2018.170663
关键词 光学面形检测 ; 离轴非球面 ; 条纹反射测量技术 ; 光线追迹
地址

中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心, 四川, 成都, 610209

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1003-501X
学科 电子技术、通信技术
基金 四川省科技厅重点研发项目 ;  中国科学院青年创新促进会项目
文献收藏号 CSCD:6290638

参考文献 共 18 共1页

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引证文献 1

1 陈贞屹 基于立体相位测量偏折术的预应力薄镜面形检测 光电工程,2020,47(8):190435
被引 0 次

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