电子级多晶硅的生产工艺

梁骏吾

参考文献共 1 共1页

1. 梁骏吾. 兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考. 中国工程科学,2000,2(6):33

被引 6 次

引证文献 23 篇

1 李国栋电子级多晶硅生产工艺的热力学分析过程工程学报,2007,7(3):520-525
被引 7 次

2 李伟明太阳能级多晶硅制备技术与发展方向现代化工,2010,30(7):19-23
被引 2 次

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