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兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考

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来源 中国工程科学 ,2000,2(6):33 【扩展库】
关键词 多晶硅 ; 半导体工业 ; 规模生产
地址

中科院半导体所, 北京, 100083

语种 中文
ISSN 1009-1742
学科 社会科学总论
文献收藏号 CSCD:594186

参考文献 共 3 共1页

1.  中国硅材料工业发展研究课题组. 中国硅材料工业发展研究 [R],1997:1152 被引 1    
2.  宋大有. 上海有色金属,2000,21(1):31 被引 1    
3.  万群. 中国信息产业领域相关重点基础材料科技发展战略研究,2000 被引 1    
引证文献 6

1 梁骏吾 电子级多晶硅的生产工艺 中国工程科学,2000,2(12):34
被引 23

2 铁生年 太阳能级多晶硅尾气回收液相二氧化硅提纯 科技导报,2010,28(23):104-107
被引 0 次

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