文摘
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运用金属有机气相外延设备,在蓝宝石衬底两相相反取向的c面上同时生长六方相氮化镓薄膜。对此进行了扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、透射电子显微镜的分析和研究。发现这两个薄膜有许多不同之处。 |
来源
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半导体学报
,2001,22(8):1030 【核心库】
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关键词
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极性
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GaN
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MOVPE
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微观结构
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地址
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1.
中科院半导体所, 中科院半导体材料科学开放实验室, 北京, 100083
2.
中科院凝聚态物理中心, 北京电子显微镜开放实验室, 北京, 100080
3.
天津市半导体技术所, 天津, 300051
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语种
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中文 |
文献类型
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研究性论文 |
ISSN
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0253-4177 |
学科
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电子技术、通信技术 |
基金
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国家863计划
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国家自然科学基金
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国家973计划
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文献收藏号
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CSCD:533071
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