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N型6H-SiCMOS电容的电学特性

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来源 半导体学报 ,2001,22(6):755 【核心库】
关键词 碳化硅 ; MOS电容
地址

中科院半导体所, 北京, 100083

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0253-4177
学科 电工技术
文献收藏号 CSCD:533015

参考文献 共 5 共1页

1.  张玉明. n型6H-SiC体材料欧姆接触的制备. 半导体学报,1997,18(9):718-720 被引 10    
2.  臧岚. GaN/6H-SiC柴外探测的光电流性质研究. 半导体学报,1998,19(3):197-201 被引 4    
3.  王辉耀. 氩离子轰击对射频溅射法制备的a-SiC:H膜退火形成6H-SiC的影响. 半导体学报,1998,19(8):569-573 被引 4    
4.  张玉明. SiC肖特基势垒二极管的研制. 半导体学报,1999,20(11):1040-1043 被引 12    
5.  尚也淳. 电子辐照下的SiC少子寿命退化模型. 半导体学报,2000,21(2):169-173 被引 2    
引证文献 1

1 徐静平 SiO_2/SiC界面对4H-SiC n—MOSFET反型沟道电子迁移率的影响 半导体学报,2004,25(2):200-205
被引 4

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