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In_2O_3∶Sn和ZnO∶Al透明导电薄膜的结构及其导电机制

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来源 半导体学报 ,2000,21(4):394 【核心库】
关键词 导电薄膜 ; In_2O_3∶Sn ; ZnO∶Al ; 结构 ; 导电机制
地址

中科院金属所, 辽宁, 沈阳, 110015

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0253-4177
学科 电子技术、通信技术
基金 辽宁省沈阳市科技攻关项目
文献收藏号 CSCD:532714

参考文献 共 4 共1页

1.  姜燮昌. 真空,1995,6:1 被引 6    
2.  马谨. 半导体学报,1998,19:473 被引 1    
3.  Fan J C C. Appl Phys Lett,1977,31:337 被引 1    
4.  吴彬. 退火处理对透明导电CdIn↓2O↓4薄膜光学、电学性质及其能带结构的影响. 半导体学报,1997,18:151 被引 12    
引证文献 21

1 范志新 氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算 半导体学报,2001,22(11):1382
被引 22

2 范志新 透明导电薄膜最佳掺杂含量的理论计算 半导体学报,2002,23(6):589-592
被引 4

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