用气态源分子束外延生长法制备Si/SiGe/Sinpn异质结双极晶体管

刘学锋李晋闽孔梅影黄大定李建平林兰英

参考文献共 4 共1页

	1. 郭宝增. Si／Si1—xGex应变层异质结双极晶体管（HBT）交直流特性的仿真研究. 半导体学报,1998,19(10):764	被引 6 次
	2. King C A. IEDM Tech Dig,1995:95	被引 1 次
	3. 刘学锋. 功能材料与器件学报,1997,3:181	被引 1 次
	4. 刘学锋. 半导体学报,1999,19:896	被引 1 次

引证文献 1 篇

1 于兆亮离子液体中硅锗膜共沉积过程的反应特性吉林大学学报. 理学版,2014,52(5):1031-1034
被引 1 次

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李晋闽 0000-0002-0900-2497

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