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文摘
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结果表明，在淀积过程中，最初淀积的Ti与衬底表面的氧形成Ti-O键，界面区很窄；450℃退火1h后，有少量元素态Al、Si原子析出，界面区有所展宽，但变化不大；650℃退火1h后，界面发生强烈反应，有TiO和Ti-Al、Ti-Si化合物生成。850℃退火1h后，除上述反应产物外又生成了Ti_2O。 |
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来源
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西安交通大学学报
,1998,32(4):9 【核心库】
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关键词
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固体-固体界面
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固相反应
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退火
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元素分析
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地址
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1.
西安交通大学电气工程学院, 陕西, 西安
2.
中科院半导体所, 北京
3.
西安交通大学, 陕西, 西安
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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0253-987X |
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学科
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物理学;电子技术、通信技术 |
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基金
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国家自然科学基金
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上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室基金
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文献收藏号
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CSCD:466179
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