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氧化层厚度对NPN双极管辐射损伤的影响
Effect of oxides thickness on radiation damage to NPN bipolar transistors

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席善斌 1   陆妩 1 *   王志宽 2   任迪远 1   周东 1   文林 1   孙静 1  
文摘 研究了不同氧化层厚度的两种国产NPN双极晶体管在高低剂量率下的辐射效应和退火特性。结果显示,随总剂量的增加,晶体管基极电流增大,电流增益下降,且薄氧化层的晶体管比常规厚氧化层的晶体管退化更严重。另外,两种NPN晶体管均表现出明显的低剂量率损伤增强效应。本文对各种实验现象的损伤机理进行了分析。
其他语种文摘 Radiation damage,caused by high or low dose rate irradiation,to NPN transistors of different oxide thicknesses is investigated experimentally.The results show that base current of the transistors increased with total dose,but the current gain decreased with increasing total dose.The NPN transistors of thin oxides degraded more than those of ordinary oxide thickness.However,both types of the NPN transistors exhibited the enhanced low dose rate sensitivity(ELDRS).Mechanisms of the effects are discussed.
来源 核技术 ,2012,35(2):104-108 【核心库】
关键词 NPN双极晶体管 ; ~(60)Coγ辐照 ; 氧化层厚度 ; 剂量率效应
地址

1. 中国科学院新疆理化技术研究所, 新疆电子信息材料与器件重点实验室, 乌鲁木齐, 830011  

2. 模拟集成电路国家重点实验室, 模拟集成电路国家重点实验室, 重庆, 400060

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0253-3219
学科 电子技术、通信技术
基金 国家自然科学基金项目
文献收藏号 CSCD:4458392

参考文献 共 14 共1页

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11.  席善斌. 不同基区掺杂浓度NPN双极晶体管电离辐照效应. 原子能科学技术,2010,44(Suppl):533-537 被引 2    
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14.  赖祖武. 抗辐射电子学,1998 被引 7    
引证文献 1

1 贾金成 双多晶自对准NPN管的总剂量辐射效应研究 微电子学,2018,48(1):120-125
被引 1

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