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氩气流量对多晶硅定向凝固炉热场的影响
Effects of Argon Flow Rate on the Thermal Field in a Casting Furnace for Multi-Crystalline Silicon

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李早阳 1   刘立军 1   马文成 1   余庆华 1   李凯 2  
文摘 耦合求解了多晶硅定向凝固炉内热传导、热辐射、熔体和氩气热对流等各种耦合换热,比较分析了不同氩气流量下定向凝固炉内部热场分布和硅熔体流动结构。结果表明,当氩气流量增大到一定值时,氩气流对凝固过程中硅熔体流动和热输运的影响显著增强。
其他语种文摘 Thermal conduction,thermal radiation,silicon melt and argon gas convection in a casting furnace for multi-crystalline silicon ingot were solved in a coupled way.The effects of argon flow rate on the global thermal field and the silicon melt flow were investigated.The results showed that the argon flow could significantly influence the melt convection and heat transport in a casting process when the argon gas flow rate exceeds a critical value.
来源 工程热物理学报 ,2012,33(1):143-145 【核心库】
关键词 氩气流 ; 多晶硅铸锭 ; 定向凝固 ; 数值模拟
地址

1. 西安交通大学能源与动力工程学院, 陕西, 西安, 710049  

2. 中国科学院微重力重点实验室, 中国科学院微重力重点实验室, 北京, 100190

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0253-231X
学科 晶体学
基金 国家自然科学基金资助项目 ;  国家教育部新世纪优秀人才支持计划 ;  中央高校基本科研业务费专项资金 ;  中国科学院微重力重点实验室资助项目
文献收藏号 CSCD:4434211

参考文献 共 7 共1页

1.  Machida N. The Effects of Argon Flow Rate and Furnace Pressure on Oxygen Concentration in Czochralski-Grown Silicon Crystals. Journal of Crystal Growth,1998,186:362-368 被引 4    
2.  Ren Bingyan. Effects of argon gas flow rate and guide shell on oxygen concentration in Czochralski silicon growth. Rare Metals,2006,25(1):7-10 被引 3    
3.  Kalaev V V. Gas Flow Effect on Global Heat Transport and Melt Convection in Czochralski Silicon Growth. Journal of Crystal Growth,2003,249:87-99 被引 15    
4.  Gao Bing. Global Simulation of Coupled Carbon and Oxygen Transport in a Unidirectional Solidification Furnace for Solar Cells. Journal of the Electrochemical Society,2010,157(2):H153-H159 被引 2    
5.  Li Zaoyang. Development and Application of a Structured/Unstructured Combined Mesh Scheme for Global Modelling of a Directional Solidification Process of Silicon. ECS Transactions,2010,27(1):1047-1052 被引 2    
6.  Liu Lijun. Partly Three-Dimensional Global Modeling of a Silicon Czochralski Furnace. I. Principles, Formulation and Implementation of the Model. International Journal of Heat and Mass Transfer,2005,48:4481-4491 被引 7    
7.  Becker R. Solution of a Stationary Benchmark Problem for Natural Convection with Large Temperature Difference. International Journal of Thermal Sciences,2002,41:428-439 被引 4    
引证文献 5

1 苏文佳 多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化 人工晶体学报,2014,43(5):1236-1242
被引 2

2 兰洵 多晶硅铸锭温场分布的理论模拟与分析 半导体技术,2014,39(10):789-793
被引 0 次

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