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激光化学气相反应生长Ti(C,N)薄膜的成分及微观结构
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文摘
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运用XRD、EPMA、TEM等手段分析在Ti-6Al-4V基材上用激光化学气相反应生长的Ti(C,N)薄膜的成分、结构、显微组织。可在基材表面形成大面积均匀的Ti(C,N)膜层,为无明显择优取向的等轴纳米晶,其中有少量的Ti_2N相,且Al、V含量低于基材。 |
来源
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材料研究学报
,1998,12(6):663 【核心库】
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关键词
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激光
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化学气相反应生长薄膜
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Ti(c,N)
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地址
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中科院金属所, 辽宁, 沈阳
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语种
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中文 |
文献类型
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简报 |
ISSN
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1005-3093 |
学科
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物理学 |
基金
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国家863计划
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文献收藏号
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CSCD:426130
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参考文献 共
3
共1页
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