多量子阱非对称法布里珀罗光调制器的模式波长调整

吴荣汉陈志标陈弘达高文智赵军

文摘	计算了不同折射率膜层下，非对称法布里珀罗腔模式波长随膜层厚度的变化。分析了在膜层折射率较低时，模式波长随层厚的增加反而减小的机理，并在实验中研究这种现象。利用湿腐蚀的方法移动模式波长，补偿由生长误差引入的模式波长偏差，从而做到模式波长可控，获得高消光比的器件。同时利用湿法腐蚀方法将模式波长调整到不同位置，测量了不同模式波长位置时器件的调制特性。
来源	半导体学报 ,1998,19(5):341 【核心库】
关键词	多量子阱非对称法 ; 布里珀罗光调制器 ; 模式波长
地址	中科院半导体所, 北京
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0253-4177
学科	电子技术、通信技术
文献收藏号	CSCD:423610

参考文献共 3 共1页

	1. 林永昌. 光学薄膜原理,1990:51	被引 1 次
	2. 陈志标. 非对称长法布里-伯里腔光调制特性分析及高对比度GaAs/AlGaAs调制器. 半导体学报,1996,17(12):891	被引 8 次
	3. 陈志标. 光子学报	被引 1 次

引证文献 1 篇

1 陈弘达 Multiple Quantum Well SEED Arrays for Flip-Chip Bonding Optoelectronic Smart Pixels 半导体学报,2000,21(9):839
被引 0 次

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