帮助 关于我们

返回检索结果

氮气分压对电弧离子镀CrNx薄膜组织结构的影响
Nitrogen Partial Pressure and Microstructures of CrNx Coating by Arc Ion Plating

查看参考文献13篇

陈康敏 1 *   张晓柠 1   郑陈超 1   黄燕 1   关庆丰 1   宫磊 2   孙超 2  
文摘 利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrN_x薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响. 结果表明,随着氮气分压的升高, CrN_x薄膜表面熔滴的数量及尺寸减少,表面平整度得到明显改善;薄膜的物相组成在氮气分压为1.0 Pa时由Cr_2N相变为CrN相;同时因氮气分压改变粒子、离子的轰击作用,影响薄膜表面的能量状态, CrN_x薄膜晶体的择优生长由(200),(220)变为(111). 在氮气分压为1.5 Pa时可获得高沉积效率、高致密度、高硬度,并具有纳米晶体结构的单相CrN薄膜
其他语种文摘 The CrNxcoatings were deposited by arc ion plating onTi-6Al-4V substrates. The impacts of the coating conditions, including the nitrogen partial pressure, deposition rate, duty cycle of the voltage pulse,on mechanical properties of the coating were evaluated. The microstructures of the coating were characterized with scanning electron microscopy,X-ray diffraction, and transmission electronmicroscopy. The results showthatthe nitrogen partial pressure significantly affects the surface morphologies, microstructures and mechanical properties of the CrN_xcoatings. For example,as the partial pressure rises up, the coating becomes increasingly smoothwith decreased number and sizes of Cr droplets. At a 1.0 Pa of nitrogen, the Cr_2N phase transited into CrN. Moreover, the partial pressure influenced the bombardment of charged particles and the electronic properties of the surface. At 1.5 Pa, CrN and a high deposition rate, highly compact, nanocrystal CrN films with high surface hardness can be grown
来源 真空科学与技术学报 ,2010,30(6):662-666 【扩展库】
关键词 电弧离子镀 ; CrN_x薄膜 ; 氮气分压 ; 组织结构
地址

1. 江苏大学材料科学与工程学院, 镇江, 212013  

2. 中国科学院金属研究所材料表面工程研究部, 沈阳, 110016

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1672-7126
学科 一般工业技术
基金 江苏大学高级技术人才科研启动基金项目 ;  江苏大学科技创新团队资助课题
文献收藏号 CSCD:4052569

参考文献 共 13 共1页

1.  唐宾. 离子束增强沉积CrN膜层及其微动摩擦学性能研究. 材料热处理学报,2005,26(3):58-60 被引 7    
2.  郭军霞. 类金刚石碳膜的结构及其微动磨损行为. 材料保护,2003,36(9):15-18 被引 5    
3.  Jong Hyun Park. Synthesis and Mechanical Properties of Cr Si N Coatings Deposited by a Hybrid System of Arc Ion Plating and Sputtering Techniques. Surface & Coatings Technology,2004,188/189:425-430 被引 1    
4.  赵晚成. CrN活塞环薄膜的摩擦学性能. 润滑与密封,2005(2):59-66 被引 11    
5.  Shin S H. Cutting Performance of CrN and Cr-Si-N Coated end-Mill Deposited by Hybrid Coating System for Ultra-High Speed Micro Machining. Surface & Coatings Technology,2008,202:5613-5616 被引 5    
6.  Lee D B. High Temperature Oxidation of a CrNCoating Deposited on a Steel Substrate by Ion Plating. Surface and Coatings Technology,2001,141:227-231 被引 6    
7.  韩增虎. 磁控溅射CrNx薄膜的制备与力学性能. 功能材料,2002,33(5):500-502 被引 7    
8.  Myung-Yong Wee. Surface Properties of CrN-Coated Ti 6Al 4V Alloys by Arc-Ion Plating Process. Materials Letters,2005,59:876-879 被引 1    
9.  Boxman R L. Macroparticle Contemination in Cathodic Arc Coatings: Generation, Transport and Control. Surf Coat Technol,1992,52:39-50 被引 29    
10.  Li M S. Effects of Nitrogen Partial Pressure and Pulse Bias Voltage on (Ti, Al)N Coatings by Arc Plating. Surf Coat Technol,2003,167:197-202 被引 20    
11.  钟彬. 氮气含量对CrN_x薄膜相结构及摩擦磨损性能的影响. 材料热处理学报,2007,28(3):134-137 被引 10    
12.  史新伟. 磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及其强化机理研究. 真空科学与技术学报,2008,28(5):486-491 被引 9    
13.  陈康敏. 电弧离子镀NiCoCrAlY涂层的透射电镜研究. 真空科学与技术学报,2009,29(1):21-25 被引 6    
引证文献 8

1 郑陈超 弧电流对电弧离子镀CrN硬质涂层组织性能的影响 航空材料学报,2011,31(4):51-55
被引 8

2 陈康敏 电弧离子镀制备CrN_x薄膜中熔滴的结构表征与形成机制 真空科学与技术学报,2011,31(6):681-685
被引 1

显示所有8篇文献

论文科学数据集
PlumX Metrics
相关文献

 作者相关
 关键词相关
 参考文献相关

版权所有 ©2008 中国科学院文献情报中心 制作维护:中国科学院文献情报中心
地址:北京中关村北四环西路33号 邮政编码:100190 联系电话:(010)82627496 E-mail:cscd@mail.las.ac.cn 京ICP备05002861号-4 | 京公网安备11010802043238号