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光敏杂化溶胶-凝胶法研制多模干涉波导分束器
Fabrication of MMI splitters by photosensitive hybrid sol-gel technology

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文摘 采用有机/无机杂化溶胶-凝胶方法制备高质量的SiO2薄膜和光敏性薄膜材料;利用三维FD-BPM(finitedifference beam propagation method)研究了掩埋式和暴露式矩形波导结构多模干涉(MMI)型光功率分束器的主要性能,理论模拟发现,掩埋式矩形波导结构分束器的长度,宽度和厚度容差性都优于暴露式矩形波导结构的MMI型分束器,并且具有更宽的带宽特性.通过简单的紫外曝光,显影工艺制备了1×4 MMI型波导分束器,分束器在1 550 nm波长附近的插入损耗为8.1~8.8 dB,功率分束不均匀性小于1 dB
其他语种文摘 The perfect photosensitive SiO2 films with no cracks, small roughness and smooth surface are fabricated by the organic/inorganic hybrid sol-gel method. Then, the main performance of multi-mode interference(MMI) power splitters with the two kinds of UVlight imprinting structures, buried rectangular waveguide and exposed rectangular waveguide,is discussed using three-dimensional finite difference beam propagation method(FD-BPM).The simulated results show that the MMI optical power splitter with the buried structure has superior length, width, depth tolerances and wider bandwidth compared with that with the exposed structure, which is fit for dense wavelength division multiplex(DWDM) system. Finally,1×4 MMI power splitters with buried rectangular waveguide structure are fabricated by the UV-light imprinting and organic/inorganic hybrid sol-gel technology. The insertion loss is about 8.1-8.8 dB, and the splitting uniformity is lower than 1 dB at the wavelength of 1 550 nm
来源 光电子·激光 ,2010,21(10):1452-1454 【核心库】
关键词 杂化溶胶-凝胶 ; 光敏 ; 多模干涉(MMI) ; 分束器
地址

中国科学院半导体研究所光电研发中心, 北京, 100083

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1005-0086
学科 物理学
基金 国家自然科学基金资助项目 ;  国家863计划
文献收藏号 CSCD:4050471

参考文献 共 9 共1页

1.  王启明. 高速率、低价位、智能化“3C”光网络呼唤Si基化、集成化SOC芯片. 光电子·激光,2007,18(3):257-262 被引 1    
2.  张超一. EPON与GPON的融合接入方案. 光通信技术,2009,23(4):69-72 被引 1    
3.  李俊一. 基于silica波导光栅的单纤三向器的混合集成研究. 光电子·激光,2009,20(11):1422-1424 被引 4    
4.  Hickernell F S. Optical waveguides on silicon. Solid State Technol,1988,33(11):83-87 被引 1    
5.  毛小丹. 玻璃基光功分器的小型化设计与制作. 光电子·激光,2009,20(1):21-23 被引 2    
6.  WEI Tso-yun. A study of multimode interference power splitter with a truncated-and-raised interference region. Optics Communications,2010,283(6):975-978 被引 1    
7.  Ghaffari Afshin. Power splitters with different output power levels based on directional coupling. Applied Optics,2009,48(8):1606-1609 被引 3    
8.  李梅. 掺杂型有机/无机杂化材料的接触极化技术研究. 光电子·激光,2009,20(1):56-58 被引 3    
9.  Oubaha M. New organic inorganic sol-gel material with high transparency at1.55μm. Opt Commun,2005,253(4/6):346-351 被引 2    
引证文献 1

1 王计元 基于塑料光纤传感的溶解氧浓度检测的实验研究 光电子·激光,2012,23(1):121-125
被引 2

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