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Si纳米线阵列波导光栅制备
Fabrication of a Si nanowire arrayed waveguide grating

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文摘 采用绝缘层上Si(SOI)材料设计制备了3×5纳米线阵列波导光栅(AWG),器件大小为110μm×100μm.利用简单传输法模拟了器件的传输谱,并采用二维时域有限差分(FDTD)模拟中心通道输出光场的稳态分布,模拟结果表明,器件的通道间隔为11 nm,通道间的串扰为18 dB.通过电子束曝光(EBL)和感应耦合等离子(ICP)刻蚀制备了所设计的器件,光输出谱测试分析表明,器件中心通道的片上损耗为9 dB,通道间隔为8.36~10.40 nm,中心输出通道的串扰为6 dB.在误差允许范围内,设计和测试的结果一致
其他语种文摘 A 110 μm×100 μm ultracompact 3×5 arrayed waveguide grating(AWG) demultiplexer is designed and fabricated based on Si on insulator(SOI) nanowire. The transmission spectra are simulated by the simple transmission function, and the stable output optical field distribution is simulated by 2D finite difference time domain(FDTD).The simulated results show that the device is designed with a channel spacing of 11 nm and crosstalk of 18 dB.The device is fabricated on a silicon-on-isolator(SOI) substrate by electron beam lithography(EBL) and inductively coupled plasma(ICP) etching. The demultiplexing characteristics are observed with a channel spacing of 8.36-10.4 nm, crosstalk of about 6 dB and a loss of about 9 dB for the central channel. The test results are consistent with the design results in the error range
来源 光电子·激光 ,2010,21(10):1431-1434 【核心库】
关键词 阵列波导光栅(AWG) ; 绝缘层上硅(SOI)纳米线波导 ; 时域有限差分(FDTD) ; 电子束曝光(EBL)
地址

中国科学院半导体研究所, 集成光电子国家重点实验室, 北京, 100083

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1005-0086
学科 电子技术、通信技术
基金 国家863计划 ;  国家自然科学基金资助项目
文献收藏号 CSCD:4050466

参考文献 共 10 共1页

1.  Tom Claes. Labelfree biosensing with a slot-waveguide-based ring resonator i silicon on insulator. IEEE Photonics Journel,2009,1(3):197-204 被引 15    
2.  Horst F. Echelle grating WDM (de-)multiplexers in SOI technology, based on a desig with two stigmatic points. SPIE.6996,2008:69960R 被引 2    
3.  Shijun Xiao. Multiple-channe silicon micro-resonator based filters for WDM applications. Optics Express,2007,15(12):7489-7498 被引 6    
4.  Hirohito Yamada. Si photonic wire waveguide devices. IEEE Journal of Selected topics in Quantum Electronics,2006,12(6):1371-1379 被引 2    
5.  陈媛媛. 4×4热光SOI波导开关阵列. 光电子·激光,2009,20(3):283-285 被引 3    
6.  Laurent Vivien. High speed and high responsivity germanium photodetector integrated in a Silicon-on-insulator microwaveguide. Optics Express,2007,15(15):9843-9848 被引 1    
7.  Alexander W. Fang. Electrically pumped hybrid AlGaInAs-silicon evanescent laser. Optics Express,2006,14(20):9203-9210 被引 2    
8.  李俊一. 基于silica波导光栅的单纤三向器的混合集成研究. 光电子·激光,2009,20(11):1422-1425 被引 4    
9.  Sasaki K. Arrayed waveguide grating of 70×60μm size based on Si photonic wire waveguides. Electronics Letters,2005,41(14):801-802 被引 9    
10.  Wim Bogaerts. Compact wavelength-selective functions in silicon-on-insulator photonic wires. IEEE Journal of Selected topics in Quantum Electronics,2006,12(6):1394-1401 被引 11    
引证文献 2

1 姜宏伟 SoI基微环谐振可调谐滤波器 光电子·激光,2011,22(6):813-815
被引 8

2 王新中 HCl气体辅助生长GaN纳米线阵列与机理研究 光电子·激光,2014,25(5):903-907
被引 0 次

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