单行载流子光电探测器中空间电荷屏蔽效应理论分析和实验研究
Theoretical analysis and experimental study of the space-charge-screening effect in uni-traveling-carrier photodiode
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文摘
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本文优化设计和外延生长了一种单行载流子(UTC)光电探测器有源区结构,并且采用微电子工艺制备了台面尺寸为30μm的UTC光电探测器.同时,采用了漂移-扩散模型对该有源区结构进行了理论模拟,从载流子浓度和空间电场角度重点分析研究了空间电荷屏蔽效应对UTC光电探测器直流饱和特性影响的物理机理.UTC光电探测器理论模拟结果与实测数据基本相符. |
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其他语种文摘
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A new optimized structure of an UTC(uni-traveling-carrier) photodiode is developed and epitaxied by metal-organic chemical vapor deposition.We fabricated a UTC photodiode of 30 μm in diameter.Theoretical simulation based on drift-diffusion model was used to analyze the space-charge-screening effect in UTC photodiode primarily in two aspects:the carrier concentrations and the space electric field.The simulation results were generally in agreement with the experimental data. |
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来源
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物理学报
,2010,59(7):4524-4529 【核心库】
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DOI
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10.7498/aps.59.4524
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关键词
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单行载流子
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光电探测器
;
空间电荷屏蔽效应
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地址
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中国科学院半导体研究所, 半导体研究所集成光电子学国家重点实验室, 北京, 100086
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1000-3290 |
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学科
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电子技术、通信技术 |
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基金
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国家973计划
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文献收藏号
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CSCD:3892177
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参考文献 共
16
共1页
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|
1.
Ozeki T.
Electron Lett,1976,12:80
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
2.
Humphreys D A.
IEE Proceedings J Optoelectronics,1988,135:45
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
3.
Esman R D.
IEEE Photon Technol Lett,1990,2:502
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
4.
Williams K J.
IEEE Photon Technol Lett,1994,5:639
|
被引
2
次
|
|
|
|
|
5.
Dentan M.
IEEE J Lightw Technol,1990,8:1137
|
被引
6
次
|
|
|
|
|
6.
Duan N.
IEEE J Quantum Elect,2006,12:1255
|
被引
3
次
|
|
|
|
|
7.
Williams K J.
IEEE Photon Technol Lett,1998,7:1015
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
8.
Jiang H.
IEEE Photon Technol Lett,1998,11:1608
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
9.
Williams K J.
2000 IEEE International Topical Meeting on Microwave Photonics Oxford,2000:221
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
10.
Juodawlkis P W.
2002 The 15th Annual Meeting of the IEEE Lasers and Electro-Optics Society Glasgow,2002:426
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
11.
Guo JC.
IEEE J Lightw Technol,2007,9:2783
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
12.
Windhorn T H.
IEEE Electron Dev Lett,1982,3:18
|
被引
4
次
|
|
|
|
|
13.
Hill P.
Appl Phys Lett,1987,18:1260
|
被引
2
次
|
|
|
|
|
14.
夏力臣.
半导体光电,2004,3:169
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
15.
Zhang Y X.
Chin Phys B,2009,18:2393
|
被引
5
次
|
|
|
|
|
16.
Ishibashi T.
Proc Ultrafast Electron Optoelectron,1997,13:83
|
被引
1
次
|
|
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