等离子体加工过程中尘埃微粒行为的研究

顾琅

文摘	综述低气压等离子体加工过程中关于尘埃微粒的形成及生长过程、带电机制、作用力、输运特性及尘埃等离子体的强耦合性质等方面的研究进展，并介绍其主要测量手段，观测结果及理论模型。
来源	力学进展 ,1997,27(1):56 【核心库】
关键词	等离子体 ; 等离子体 ; 尘埃微粒 ; 低气压
地址	中科院力学所, 北京
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	1000-0992
学科	力学
文献收藏号	CSCD:384824

参考文献共 2 共1页

	1. Chu J H. J Phys D,1994,27:296	被引 13 次
	2. Cui Chunshi. J IEEE Trans P S,1994,22:151	被引 1 次

引证文献 4 篇

1 邱孝明未来制造业和加工业中的等离子体核聚变与等离子体物理,1998,18(4):53
被引 4 次

2 吴静尘埃颗粒与等离子体鞘层相互作用的数值模拟核聚变与等离子体物理,2008,28(1):40-44
被引 2 次

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