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一种纳米分辨率近场光学显微镜:光子扫描隧道显微镜
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文摘
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报导了一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理,结构,光纤探针制造,信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于10nm,纵向分辨率约1nm,扫描范围10μm×10μm。还观察了云母、高密度乙烯HDPE高取向薄膜等透明材料及铌酸锂(LiNbO_3+T_i)波导的电光效应等。 |
来源
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电子显微学报
,1997,16(3):223 【核心库】
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关键词
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近场光学显微镜
;
光子扫描隧道
;
显微镜
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地址
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1.
中科院北京电子显微镜实验室, 北京电子显微镜开放实验室, 北京
2.
大连理工大学应用物理系, 辽宁, 大连
3.
中科院半导体所, 北京
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语种
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中文 |
文献类型
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研究性论文 |
ISSN
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1000-6281 |
学科
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电子技术、通信技术 |
文献收藏号
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CSCD:365536
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参考文献 共
8
共1页
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1.
吴世法.
Scanning,1995,17(1):18
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被引
2
次
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2.
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被引
1
次
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3.
姚骏恩.
电子显微学报,1988,7(1):48
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被引
9
次
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4.
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被引
2
次
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5.
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被引
1
次
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6.
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被引
1
次
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被引
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被引
6
次
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