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用气相色谱法测定半导体工艺中固、液、气相砷、磷及化合物的新方法
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文摘
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研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原-气相色谱分析方法,样品不需预处理,使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷及其化合物的含量.砷、磷的检测限分别为0.01mg/L和0.003mg/L.相对偏差分别为6.2%和8.6%,测定范围为10~(-5)~10~(-11),并与经典方法进行对比,结果一致. |
来源
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半导体学报
,1997,18(1):64 【核心库】
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关键词
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气相色谱法
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半导体工艺
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固、液、气相
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砷
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磷
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化合物
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地址
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中科院半导体所, 北京
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语种
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中文 |
文献类型
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简报 |
ISSN
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0253-4177 |
学科
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电子技术、通信技术 |
文献收藏号
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CSCD:358653
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参考文献 共
7
共1页
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