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Ti和蓝宝石的界面反应
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文摘
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在超高真空中用电子束蒸发在抛光的(1102)取向的蓝宝石(a-Al_2O_3)衬底上蒸镀500 nm的Ti膜,在恒温炉中退火,然后用XRD(包括一般的和小角度的X射线衍射),AES和SIMS等表面分析技术详细研究了从室温至850℃,Ti与a-Al_2O_3的固相界面反应.首次系统提出了不同反应温区相应的化学反应式,讨论了采用体材料数据作热力学计算来预言Ti/a-Al_2O_3界面反应的局限性. |
来源
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物理学报
,1996,45(5):832 【核心库】
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DOI
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10.7498/aps.45.832
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关键词
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Ti
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蓝宝石
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界面反应
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地址
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1.
中科院半导体所, 表面物理国家重点实验室, 北京, 100083
2.
中科院半导体所, 表面物理国家重点实验室, 北京
3.
清华大学材料所, 表面物理国家重点实验室, 北京
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语种
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中文 |
文献类型
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研究性论文 |
ISSN
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1000-3290 |
学科
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物理学 |
基金
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国家自然科学基金
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文献收藏号
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CSCD:339970
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参考文献 共
5
共1页
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