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InGaAs/InPAPD探测器光电特性检测
Measurement of the Static Optoelectronic Characteristics of InGaAs/InP Avalanche Photodiode

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肖雪芳 1   杨国华 1   归强 1   王国宏 1   马晓宇 1   陈朝 2   陈良惠 1  
文摘 建立了雪崩二极管的静态光电特性的自动测试系统.利用该系统对光.敏面的直径为500岬的台面型InGaAs/InP雪崩光电二极管(APDs)进行测试.测试结果表明,该APD器件在90%击穿电压下的暗电流为151nA,在直径500μm的光敏面上其光响应均匀性良好.提出一种测量雪崩二极管倍增因子的方法,只需利用普通的测量电流一电压的测试仪器,就可以获得开始倍增时的光电流,从而得到APD的倍增因子.通过该方法得到的InGaAs/InPAPD器件最大倍增因子的典型值在10-100量级.
其他语种文摘 A measurement system is set up which could measure static optoclcctronic characteristics of avalanche photodiodcs (APDs). By using this system, the mesa-structure InP/InGaAs APDs is measured. The results show that the APDs have a relatively low dark currcnt (-150 nA at 90% of breakdown) and a uniform photorcsponsc profile of about 500 μm diameter. A method of getting APDs's multiplication gain is also proposed. Through getting the photocurrcnt at the point where multiplication is beginning, the multiplication gain can bc obtained by the simple current-voltage equipment. For InP/InGaAs APDs, the typical maximum multiplication gain measured by this method is about 10-100.
来源 电子科技大学学报 ,2008,37(3):460-463 【核心库】
关键词 静态光电特性的自动测试系统 ; 雪崩光电二极管 ; 大面积APD ; 倍增因子
地址

1. 中国科学院半导体研究所, 北京, 海淀, 100083  

2. 厦门大学物理系, 福建, 厦门, 361005

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1001-0548
学科 电子技术、通信技术
文献收藏号 CSCD:3286105

参考文献 共 10 共1页

1.  罗家强. 半导体光电探测器的发展及应用. 世界电子元器件,2002,07:41-43 被引 1    
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引证文献 2

1 王小驹 基于线列雪崩光电二极管的激光引信成像探测 探测与控制学报,2012,34(6):6-10
被引 0 次

2 杨红伟 雪崩光电二极管芯片自动测试系统 半导体技术,2015,40(6):473-477
被引 0 次

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