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电子束曝光机自动套准系统的研究

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王向东 1   杜秉初 1   葛璜 2  
来源 电子学报 ,1995,23(8):92 【核心库】
关键词 电子束曝光机 ; 套准技术
地址

1. 清华大学电子工程系, 北京  

2. 中科院半导体所, 北京

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0372-2112
学科 物理学
基金 国家863计划
文献收藏号 CSCD:266724

参考文献 共 0

引证文献 1 篇

1 张恝恕 聚焦离子束系统中图形发生及自动套准系统的研究 电子学报,1998,26(5):69
被引 1 次

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