文摘
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报道10×16元二维面阵GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器的研究进展。通过表面光栅耦合,采用垂直入射的工作模式,在T=80K时探测率为2.9×10~(10)cm·Hz~(1/2)/W,电压响应率为1.3×10~4V/W。各测试单元间探测率和电压响应率的偏差小于18%,串音小于0.45%,在最大探测率偏置条件下,器件的暗电流密度为6.2×10~(-6)A/cm~2。 |
来源
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半导体学报
,1995,16(1):48 【核心库】
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关键词
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GaAs/AlGaAs多量子阱红外探测器
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二维面阵红外探测器
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地址
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1.
中科院半导体所, 北京, 100083
2.
中科院半导体所, 北京
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语种
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中文 |
文献类型
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研究性论文 |
ISSN
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0253-4177 |
学科
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物理学 |
文献收藏号
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CSCD:262094
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