半导体材料与器体生产工艺尾气中砷、磷、硫的治理及检测

闻瑞梅梁骏吾邓礼生彭永清

文摘	研究了化合物半导体材料、器件生产工艺中排出的有毒物质砷、磷、硫及其化合物的治理方法。还研究了这些有毒物质的低温富集取样及快速、灵敏的分析监测方法,并与其它经典的方法作了对比。
来源	半导体学报 ,1995,16(3):188 【核心库】
关键词	半导体材料 ; 尾气治理 ; 环境保护
地址	中科院半导体所, 北京
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0253-4177
学科	物理学
文献收藏号	CSCD:262051

参考文献共 2 共1页

	1. 陈志君. ,1987	被引 1 次
	2. 闻瑞梅. 劳动保护科学技术,1993,13(2):29	被引 3 次

引证文献 3 篇

1 闻瑞梅多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷半导体学报,1997,18(2):156
被引 0 次

2 闻瑞梅 MOVPE生长Ca（CH↓3）↓3-AsH↓3-H↓2体系中砷的形态转化及砷的治理电子学报,1997,25(2):76
被引 2 次

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