碳纳米管异质结构的ECR-CVD法制备
Synthesis of Carbon Nanotube Junction by ECR-CVD
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文摘
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使用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD),以Fe_3O_4纳米粒子为催化剂,多孔硅为基底,采用CH_4/H_2和CH_4/B_2H_6/H_2两种气源在连续的CVD过程中大量合成了一种新型的纳米管异质结构.扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察表明:合成的异质结构一端是类竹节状的掺硼碳纳米管,另一端是光滑中空的纯碳纳米管.异质结构采用底端生长模式,先行生长的掺硼纳米管处于纳米管结构的顶端. |
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其他语种文摘
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A new type of nanotube junction was synthesized with CH_4/H_2 and CH-4/B_2H_6/H_2 source gases in a continuous CVD process by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition (ECR-CVD), Fe_3O_4 nanoparticle as the catalyst and porous silicon as the substrate. Scanning electron microscope (SEM) and transmission electron microscope (TEM) were used to evaluate the morphology and structure, The result shows that the junction is joined with a bamboo-like boron-doped CNT at one side and a straight, tubular CNT at another side. The junction grows via bottom-end growth mechanism, boron-doped CNT growing in first period is on the top of the nanotube junction. |
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来源
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无机材料学报
,2006,21(5):1244-1248 【核心库】
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关键词
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ECR-CVD
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异质结构
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碳纳米管
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硼掺杂
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地址
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1.
清华大学机械工程系, 北京, 100084
2.
东北大学机械工程与自动化学院, 沈阳, 110004
3.
沈阳航空工业学院, 沈阳, 110034
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1000-324X |
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学科
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一般工业技术 |
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基金
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国家自然科学基金
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文献收藏号
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CSCD:2440080
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参考文献 共
15
共1页
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