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纳米硅薄膜界面结构的微观特征
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来源
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半导体学报
,1994,15(1):71 【核心库】
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地址
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1.
北京航空航天大学非晶态物理研究室, 北京, 100083
2.
中科院半导体所, 北京电子显微镜开放实验室, 北京
3.
中科院化学所, 北京
4.
南京大学物理系, 固体微结构物理国家重点实验室, 江苏, 南京
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语种
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中文 |
文献类型
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简报 |
ISSN
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0253-4177 |
学科
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物理学;电子技术、通信技术 |
基金
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国家自然科学基金
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文献收藏号
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CSCD:230052
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参考文献 共
7
共1页
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1.
何宇亮. 纳米硅薄膜结构分析.
半导体学报,1992,13:683
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被引
9
次
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2.
Wang L C.
J Phys Condens Matter,1992,4:L509
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被引
5
次
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3.
何宇亮.
Chin Phys Lett,1993,10(9):539
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被引
6
次
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4.
Tang Wenguo.
物理学报,1993,2(10):776
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被引
1
次
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5.
刘湘娜.
物理学报,1993,42(11)
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被引
1
次
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6.
何宇亮.
科学通报,1982,27(17):1037
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被引
2
次
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7.
白春礼.
科学通报,1989,34(5):339
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被引
8
次
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