纳米复合Ti-B-N薄膜的结构和摩擦学性能
Structure and Tribological Characteristics of Nanocomposite Ti-B-N Coatings
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文摘
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研究了射频等离了体辅助化学气相沉积（PCVD）技术获得的Ti-B-N薄膜的组织结构和力学性能。结果发现，B元素的加入使薄膜中出现TiN纳米晶和BN非晶（nc-TiN／a-BN）的复合结构，其硬度显著高于TiN薄膜，最高可达40GPa。用球盘式摩擦磨损实验考察了薄膜的磨损特性。结果表明：与TiN薄膜相比，Ti-B-N薄膜抗磨损性能有显著提高，磨损机制与TiN薄膜不同，摩擦系数较TiN稍高。 |
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其他语种文摘
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The structure and properties of Ti-B-N coatings prepared by radio-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition （rf-PCVD） have been investigated in this work. The coatings were characterized by energy dispersive X-ray analysis （EDX）, X-ray diffraction （XRD）, X-ray photoelectron spectroscopy （XPS） and optical microscopy. Ball-on-disk tribometer and microscopic hardness tester were employed in evaluating the mechanical properties of the coatings. The results show that the structure of the coatings is a nanocomposite, where nanocrystalline TiN is embedded in the amorphous BN and TiB2 matrix. Compared with TiN coatings, the micro-hardness of Ti-B-N coatings can reach 40 GPa. The wear resistances of Ti-B-N coatings remarkably increase with a certain addition of boron, which caused the change of friction mechanism of TiN coatings, although its friction coefficient is higher than that of TiN. |
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来源
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稀有金属材料与工程
,2005,34(10):1597-1600 【核心库】
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关键词
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PCVD
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Ti-B-N薄膜
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硬度
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耐磨性
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地址
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1.
西安交通大学, 金属材料强度国家重点实验室, 陕西, 西安, 710049
2.
中科院兰州化物所, 固体润滑国家重点实验室, 甘肃, 兰州, 730000
3.
慕尼黑工业大学无机材料化学研究所, 德国
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1002-185X |
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学科
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金属学与金属工艺 |
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基金
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国家863计划
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国家自然科学基金
;
欧盟第五框架计划项目
;
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室开放基金
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文献收藏号
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CSCD:2178862
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参考文献 共
12
共1页
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