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硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征
Preparation and Characterization of Patterned TiO2 Microstructures on Silicon Surface

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管飞 1   陈淼 2   张瑞 2   梁山 2   薛群基 2  
文摘 结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术, 在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜, 并利用XPS, SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征. 该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.
其他语种文摘 Micro-patterned TiOa films on Si wafers was fabricated by selective deposition and microcontact printing technique. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)t scanning electron microscope (SEM) and atomic force microscopy (AFM) were used to examine the properties and microstructure of the patterned TiO2 films. This patterned TiO2 microstructures may be widely used in the field of photonics, optics, sens-ing and microelectromechanical system (MEMS).
来源 高等学校化学学报 ,2005,26(4):599-602 【核心库】
关键词 微图案 ; 微接触印刷术 ; TiO2微结构
地址

1. 中国科学院兰州化学物理研究所,中国科学院研究生院, 固体润滑国家重点实验室, 甘肃, 兰州, 730000  

2. 中国科学院兰州化学物理研究所,中国科学院研究生院, 甘肃, 兰州, 730000

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0251-0790
学科 化学;一般工业技术
基金 国家自然科学基金 ;  国家973计划
文献收藏号 CSCD:2006820

参考文献 共 20 共1页

1.  Xia Y. M. Microelectron. Eng,1996,32:255-268 被引 6 次    
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10.  Shin H. J. J. Mater. Res,1995,10(3):692-698 被引 5 次    
11.  Shin H. J. J. Mater. Res,1995,10(3):699-703 被引 2 次    
12.  Lin H. Thin Solid Thin Films[J]. Thin Solid Thin Films,1998,315:111-117 被引 6 次    
13.  Niesen T. P. J. Mater. Res,1999,14(6):2464-2475 被引 1 次    
14.  Huang D. D. Thin Solid Films,1997,305:110-115 被引 6 次    
15.  肖中党. XIAO Zhong-Dang(肖中党). 物理化学学报,1998,14(1):57-62 被引 6 次    
16.  黄丹. 自组装成膜法制TiO2薄膜. 化学学报,1998,56:417-422 被引 4 次    
17.  Masuda Y. Langmuir[J]. Langmuir,2003,19:4415-4419 被引 14 次    
18.  Masuda Y. et al. Thin Solid Films,2001,382:153-157 被引 6 次    
19.  Shin H. R. Acta Mater,1998,46:801-815 被引 10 次    
20.  Nabivants B i. I. Russ. J. Inorg. Chem,1967,12:789-792 被引 1 次    
引证文献 2 篇

1 梁山 图案化TiO_2薄膜的制备技术 化学进展,2008,20(11):1659-1665
被引 1 次

2 梁山 TiO2颗粒在羟基表面的沉积行为及图案化 无机化学学报,2011,27(1):135-140
被引 0 次

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