氩离子注入单晶硅表面的微观结构和微观力学性能研究
Micro-mechanical Properties and Micro-structure of Ar+ Ion Implanted Single-crystal Silicon
查看参考文献13篇
|
文摘
|
通过离子注入技术对单晶硅表面进行氩离子注入处理,利用纳米压痕仪及其附件研究了单晶硅表面在离子注入前、后的微观力学性能和变形机理,并用透射电子显微镜研究了改性层的微观结构.研究结果表明:一定剂量的氩离子注入使单晶硅表面的断裂韧性得到改善,提高了其在纳米划痕过程中的失效负荷.原因是氩离子的注入使单晶硅表面形成了硅的微晶态与非晶态共存的混合态结构的改性层,改善了单晶硅的微观力学性能. |
|
其他语种文摘
|
The nano-scratch behaviors of Ar+ implanted single-crystal silicon were investigated by a nano indenter system, the micro-structure of the implanted layer was analyzed with TEM. The results show that Ar+ implantation of single-crystal silicon increases the critical load, the best dose is lxl016ions/cm2. The mixed structure of micro-crystal and amorphous silicon is formed on the surface of Ar+ implanted single-crystal silicon. This contributes to increasing the ability of plastic deformation and to increasing the fracture toughness of single-crystal silicon. |
|
来源
|
无机材料学报
,2005,20(3):759-763 【核心库】
|
|
关键词
|
单晶硅
;
氩离子注入
;
纳米划痕
;
断裂韧性
|
|
地址
|
中国科学院兰州化学物理研究所, 固体润滑国家重点实验室, 甘肃, 兰州, 730000
|
|
语种
|
中文 |
|
文献类型
|
研究性论文 |
|
ISSN
|
1000-324X |
|
学科
|
化学工业 |
|
基金
|
国家自然科学基金
;
中国科学院“百人计划”项目
|
|
文献收藏号
|
CSCD:1991196
|
参考文献 共
13
共1页
|
|
1.
Muhlstein C L. Mechanics of Materials.
Mechanics of Materials,2004,36:13-33
|
被引
7
次
|
|
|
|
|
2.
Shrotriya P. Mechanics of Materials.
Mechanics of Materials,2004,36:35-44
|
被引
5
次
|
|
|
|
|
3.
Xu T. Applied Physics.
J Physics D: Applied Physics,2000,33:426-429
|
被引
3
次
|
|
|
|
|
4.
Xu T. Materials Science and Engineering A.
Materials Science and Engineering A,2000,284:51-55
|
被引
4
次
|
|
|
|
|
5.
Miyamoto T. Wear.
Wear,1993,162/163:733-738
|
被引
5
次
|
|
|
|
|
6.
Lu J J. Thin Solid Films.
Thin Solid Films,2002,416:153-159
|
被引
2
次
|
|
|
|
|
7.
Yan J. Some observations on the wear of diamond tools in ultra-precision cutting of singlecrystal silicon[C].
Proceedings of 14th International Conference on Wear of Materials,2003
|
被引
3
次
|
|
|
|
|
8.
黄立业. 类金刚石薄膜的表面纳米划擦性能评价.
无机材料学报,2001,16(5):1004-1008
|
被引
11
次
|
|
|
|
|
9.
Li X D. Surface and Coatings Technology.
Surface and Coatings Technology,2003,163/164:521-526
|
被引
7
次
|
|
|
|
|
10.
White C W. Materials Scince Reports.
Materials Scince Reports,1989,4:141-146
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
11.
Hioki T. J Mater Sci.
J Mater Sci.,1986,21:1321-1326
|
被引
2
次
|
|
|
|
|
12.
关振铎. 无机材料的物理性能.
无机材料的物理性能,1992:3-16
|
被引
1
次
|
|
|
|
|
13.
Li X D. Ultramicroscopy.
Ultramicroscopy,2003,97(1/4):481-494
|
被引
7
次
|
|
|
|
|
了解气象卫星更多信息，请访问