在微晶硅薄膜中替代式硼杂质的非受主态行为

蒋翔六 ¹ 何宇亮 ² 朱洪亮 ³

来源	半导体学报 ,1993,14(11):664 【核心库】
地址	1. 北京市科学技术研究院, 北京 2. 北京航空航天大学, 北京 3. 中科院半导体所, 北京
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0253-4177
学科	物理学;电子技术、通信技术
基金	国家自然科学基金
文献收藏号	CSCD:198975

参考文献共 4 共1页

引证文献 2 篇

1 王金良掺杂纳米硅薄膜的生长特性北京航空航天大学学报,2002,28(2):181-185
被引 1 次

2 韦文生氢化纳米硅薄膜光电性质及其应用研究进展材料导报,2002,16(2):37-39
被引 0 次

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