硅中与钼有关能级的研究

周洁 ¹ 卢励吾 ¹ 韩志勇 ¹ 吴汲安 ²

来源	半导体学报 ,1992,13(1):8 【核心库】
关键词	硅中 ; 钼 ; 能级
地址	1. 中科院半导体所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京 2. 中科院半导体所, 北京
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0253-4177
学科	电子技术、通信技术
文献收藏号	CSCD:168717

参考文献共 3 共1页

引证文献 1 篇

1 周洁氯对硅中4d过渡杂质的钝化电子学报,1994,22(5):80
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