不同介质膜的InP MIS结构界面陷阱的研究

卢励吾 ¹ 周洁 ¹ 瞿伟 ² 张盛廉 ²

来源	半导体学报 ,1992,13(4):225 【核心库】
关键词	介质膜 ; InP ; MIS结构界面 ; 陷阱
地址	1. 中科院半导体所, 半导体超晶格国家重点实验室, 北京 2. 中科院半导体所, 北京
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	0253-4177
学科	物理学
文献收藏号	CSCD:168652

参考文献共 0

引证文献 1 篇

1 陈清法 InP-MIS界面特性的研究电子科技大学学报,1994,23(6):615
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