溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
Fabrication and Characterization of Sol-Gel Silica Waveguides
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文摘
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采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶-凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因. |
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其他语种文摘
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It is very convenient to fabricate the waveguides films using photosensitive sol-gel, which synthesized with ORMOSIL, due to the refractive index of this sol-gel is similar to that of SiO2. The hybrid sol-gel occurred complex photochemical reactions when exposed to UV light, the unexposed regions of the film are removed through soaking the films in a special solvent. The effects of the UV exposure time and the postbake temperature on the refractive index and the structure of the films were investigated. |
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来源
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光子学报
,2004,33(9):1140-1143 【核心库】
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关键词
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光敏性溶胶-凝胶
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SiO2薄膜
;
折射率
;
红外光谱
;
波导
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地址
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1.
中科院半导体研究所光电子研究发展中心, 北京, 100083
2.
北京化学试剂研究所, 北京, 100022
3.
兰州大学物理科学与技术学院, 兰州, 730000
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1004-4213 |
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学科
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电子技术、通信技术 |
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基金
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国家自然科学基金
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国家973计划
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文献收藏号
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CSCD:1667311
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参考文献 共
15
共1页
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