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射频CO_2激光陶瓷基板划片机光路设计及分析
Design of beam delivery system for RF CO_2 laser ceramic substrate scriber

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侯廉平 ¹ 陈陪峰 ² 王圩 ¹

文摘	介绍了RF CO_2激光陶瓷基板划片的特点.分析了导光系统的设计原则,着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远镜的作用和特点.对导光系统进行了优化和模拟,给出了导光系统的光路图及成像质量图.试验结果和理论相符,系统划片速度可达10 m/min,划缝宽度<0.1 mm,划缝深度>0.3 mm.利用所设计的陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可与国外同类划片机相媲美.
其他语种文摘	The current requirements for laser ceramic substrate scriber systems are high light beam quality, fast scribing velocity, narrow scribing groove, small heat-affected zone, smooth cross-section, and independence of scribing quality from scribing direction. The light guide system designed can satisfy all the above-mentioned requirements, and it includes anamorphic lens, space filter, circular polarizer, Galileo defocusing telescope and focusing lens, and it has a scribing velocity of up to 10 m/min, a scribing width of less than 0. 1 mm, and a scribing depth of more than 0. 3 mm.
来源	光学精密工程 ,2004,12(1):37-42 【核心库】
关键词	激光加工设备 ; 陶瓷基板 ; 划片机 ; 光路 ; 设计
地址	1. 中科院半导体所国家光电子工艺中心, 北京, 100083 2. 华中科技大学激光工程研究院, 湖北, 武汉, 430074
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	1004-924X
学科	金属学与金属工艺
文献收藏号	CSCD:1498605

参考文献共 6 共1页

	1. Colley A D. Planar waveguide. Appl Phy Lett,1992,61(2):136-138	被引 12 次
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	3. Spacht D P. The design of sealed CO2 lasers continues to improve[J]. Laser Focus World,2001,6(2):123-127	被引 2 次
	4. 浜崎正信. 实用激光加工[M]. 实用激光加工,1992:192-193	被引 2 次
	5. 吕百达. 激光光束学[M]. 激光光束学,1992:105-107	被引 2 次
	6. 魏光辉. 激光束光学[M]. 激光束光学,1988:201-202	被引 2 次

引证文献 1 篇

1 崔建丰厚硅片的高速激光切片研究光学精密工程,2006,14(5):829-834
被引 8 次

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