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Micromechanical Tunable Optical Filter
微机械可调谐滤波器的研制
查看参考文献10篇
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文摘
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A micromachined vertical cavity tunable filter with AlGaAs/GaAs distributed Bragg reflector is presented. This filter can be electrostatic tuning over a range of 28nm with an applied voltage of 7V. |
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其他语种文摘
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利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器。该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm。 |
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来源
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半导体学报
,2003,24(4):347-350 【核心库】
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关键词
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micromacined tunable filter
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wavelength division multiplexing
;
distributed Bragg reflector
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地址
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1.
Beijing University of Posts and Telecomunications, 北京, 100876
2.
Institute of Semiconductors,The Chinese Academy of Sciences, 北京, 100876
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语种
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英文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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0253-4177 |
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学科
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电子技术、通信技术 |
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文献收藏号
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CSCD:1292558
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参考文献 共
10
共1页
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