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具有Si02绝缘层的硅基聚酰亚胺电容式湿度传感器的特性研究
Properties of the Polyimide Capacitive-type Humidity Sensor Based on Si Substrate with a SiO_2 Insulation Layer

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谢琼杨文常爱民康健

文摘	传统夹层聚酰亚胺电容式湿度传感器在亚胺化过程中感湿膜会因挥发物产生微孔，对这种传感器的成品率造成很大影响。为此，从元件的结构入手，制作Si—SiO2—PI结构的湿度传感器，对该种传感器的特性进行了测试，并与传统夹层式结构的样品进行了对出．研究表明，Si—SiO2—PI结构的湿度传感器在同等测试条件下，其电容值要出传统结构样品高25％，湿度灵敏度达到1．24pF／％，具有重复性好和一致性高的优点，并且特别利于克服薄膜孔洞和厚度不均匀造成的短路现象，有利于批量生产。
其他语种文摘	The yield of the traditional sandwich-type sensor is badly influenced by the micro holes in the film caused by the by-products of the imidization reaction. The Capacitive-type humidity sensors with Si-SiO_2-PI structure were prepared and the properties were studied. The properties were compared with those of the traditional sandwich-type sensor. The results showed that the capacitance is increased by 25%; the sensitivity reaches 1.24 pF/%. Short circuit caused by the micro holes in the film has been minimized. The sensor suits for mass production.
来源	电子元件与材料 ,2003,22(6):9-10,13 【扩展库】
关键词	湿度传感器 ; 聚酰亚胺 ; 电容式 ; 二氧化硅绝缘层
地址	中国科学院新疆理化技术研究所, 新疆, 乌鲁木齐, 830011
语种	中文
文献类型	研究性论文
ISSN	1001-2028
学科	自动化技术、计算机技术
基金	国家科技型中小企业技术创新基金
文献收藏号	CSCD:1180295

参考文献共 6 共1页

	1. 刘崇进. 高分子湿度传感器的发展概况和发展方向 [J]. 仪表技术与传感器,1997(12):1-4	被引 7 次
	2. 孙承松. 一种电容型高分子湿度传感器研究 [J]. 沈阳工业大学学报,1997,19(5):16-19	被引 5 次
	3. Sakai Y. Humidity sensor based on polymer thin films [J]. Sens Actuat. B,1996(35/36):85-90	被引 2 次
	4. Matsuguchi M. Effect of sorbed water on the dielectric properties of acetylene-terminated polyimide resins and their application to a humidity sensor [J]. J Electrochem Soc,1993,140:825-829	被引 1 次
	5. 刘海宗. 新型聚酰亚胺湿度传感器的研制 [J]. 气象水文海洋仪器,1997(3):6-9	被引 3 次
	6. 丁孟贤. 聚酰亚胺新型材料 [M]. 聚酰亚胺新型材料,1998	被引 88 次

引证文献 2 篇

1 万灵硅基／聚酰亚胺湿度敏感元件研究黑龙江大学自然科学学报,2005,22(6):822-825
被引 2 次

2 陈翠萍高分子湿度传感器的研制仪表技术与传感器,2005,0(10):4-5,8
被引 4 次

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