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AlN模及其在半导体光电器件中的应用

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郭良 1   朱素珍 1   张霞 1   余金中 1   王德煌 2  
来源 半导体学报 ,1990,11(10):780 【核心库】
关键词 半导体 ; 光电器件 ; AIN膜
地址

1. 中科院半导体所, 北京  

2. 北京大学, 北京

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0253-4177
学科 电子技术、通信技术
文献收藏号 CSCD:112295

参考文献 共 4 共1页

1.  王德煌. 中国激光,1988,9:264 被引 1    
2.  匿名著者. 光学原理.上,1978 被引 9    
3.  葛程远. 第三届全国光纤通信学术会议论文集,1986 被引 1    
4.  王德煌. Proc of International Symposium on Optical Coating,1989 被引 1    
引证文献 1

1 高玉芝 全离子注入自对准难熔金属氮化物复合栅GaAs MESFET技术研究 半导体学报,1996,17(1):27
被引 0 次

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