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大功率CO↓2激光沉积超硬Si↓3N↓4膜的性能和组织

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来源 金属学报 ,1992,28(8):B351 【核心库】
关键词 Si3N4膜 ; 组织结构 ; 硬度 ; 耐磨 ; LCVD
地址

中科院金属所, 辽宁, 沈阳

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 0412-1961
学科 金属学与金属工艺
基金 国家自然科学基金
文献收藏号 CSCD:937076

参考文献 共 3 共1页

1.  冯钟潮. ,1991 CSCD被引 2 次    
2.  冯钟潮. ,1989 CSCD被引 1 次    
3.  冯钟潮. ,1991 CSCD被引 2 次    
引证文献 1 篇

1 陈俊芳 ECR—PECVD制备Si3N4硬质陶瓷薄膜的研究 功能材料,1998,29(3):322
CSCD被引 0 次

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