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MEMS器件的计算机辅助设计与模拟

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孙克豪 1   钱劲 2   张立宪 2   余同希 3   赵亚溥 2  
文摘 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程，分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题，讨论了目前经常采用的各种模拟系 统的模拟形式和应 用范围。并结合静电微马达与微米/纳米镊子实例，分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接，所提出并采用的开发方式适用于微传感器及微执行器等微系统器件的设计与模拟。
来源 机械强度 ,2001,23(4):488 【扩展库】
关键词 微电子机械系统 ; 计算机辅助设计 ; 模拟 ; 数据库
地址

1. 南京航空航天大学航空宇航学院, 非线性力学国家重点实验室, 江苏, 南京, 210016  

2. 中科院力学所, 非线性力学国家重点实验室, 北京, 100080  

3. 香港科技大学机械工程系, 香港

语种 中文
ISSN 1001-9669
学科 自动化技术、计算机技术
基金 国家973计划 ;  中科院力学所和香港科技大学微系统力学联合实验室基金
文献收藏号 CSCD:681647

参考文献 共 6 共1页

1.  Sun K H. Int J Nonlinear Sci Numer Simulation,2000,1(5):405 CSCD被引 1 次    
2.  Gilbert J R. Proc MEMS’93Ft,1993:207 CSCD被引 1 次    
3.  Shi F. Computers Structures,1995,56(5):769 CSCD被引 12 次    
4.  Cai X. Proc 11th Int Conf Computer Aided Design,1993:283 CSCD被引 1 次    
5.  Andrew Y J L. J Microelectromech Syst,2000,9(1):126 CSCD被引 4 次    
6.  Crary S. Proc 6th Int Conf Solid State Sensors and Actuators（Transducers’91）,1992:498 CSCD被引 1 次    
引证文献 6 篇

1 张泰华 MEMS材料力学性能的测试技术 力学进展,2002,32(4):545-562
CSCD被引 27 次

2 程迎军 MEMS器件真空封装模型模拟 传感器技术,2004,23(12):86-88
CSCD被引 2 次

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