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微型材料的拉伸测试方法研究
查看参考文献6篇
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文摘
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文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法，具体说明其驱动方式、力和位移测试原理，并介绍实验中的难点，如试样加工、夹持和对中等方法。并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理。 |
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来源
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机械强度
,2001,23(4):430 【扩展库】
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关键词
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微电子机械系统
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微型材料
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拉伸
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地址
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1.
中科院力学所, 非线性力学国家重点实验室, 北京, 100080
2.
香港科技大学机械工程系, 香港
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语种
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中文 |
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ISSN
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1001-9669 |
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学科
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一般工业技术 |
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基金
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国家自然科学基金
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香港科技大学基金
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文献收藏号
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CSCD:681636
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参考文献 共
6
共1页
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1.
Yi Taechung.
Measure Sci Technol,1999,10:706
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CSCD被引
14
次
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2.
Tsuchiya T.
J Microelectromech Syst,1998,7(1):106
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CSCD被引
5
次
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3.
Sharpe W N.
J Microelectromech Syst,1997,6(3):193
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CSCD被引
20
次
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4.
Yi Taechung.
Int Conf Solid State Sensor and Actuators,1999:518
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CSCD被引
2
次
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5.
丁建宁.
仪器仪表学报,2000,21:440
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CSCD被引
5
次
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6.
丁建宁. 微结构和尺寸约束下多晶硅微机械构件拉伸强度的尺寸效应.
科学通报,2001,46(5):436
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CSCD被引
7
次
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