基于空间光调制器的飞秒激光深微孔加工方法
Depth-micro Laser Drilling Methods Based on Spatial Light Modulator
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文摘
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针对飞秒激光振镜加工系统中聚焦透镜焦深短等原因导致微孔加工深度不足的问题,提出了一种基于高损伤阈值空间光调制器加载菲涅尔透镜相位进行焦点轴向调控的加工方法.通过加载不同焦距的菲涅尔透镜相位图,控制焦点以100 μm为间隔进行焦点轴向位移,随着加工深度的增加控制焦点向下移动,并开展了相应的实验加工和测试.实验结果表明,采用该方法在保证高加工质量的前提条件下,在厚度为2 mm的不锈钢样件上实现了直径约为330 μm的微孔加工.该方法开辟了二维振镜系统实现超深微孔加工的新探索,在激光加工领域有较好的应用前景. |
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其他语种文摘
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In the galvo scanning laser drilling systems,the depth of processing is usually limited due to the short focal length.To solve this problem,a method based on high damage threshold spatial light modulator loading Fresnel lens phase is proposed.The focal length of the Fresnel lens is adjusted to change the position of the focus.As the machining depth increases,the focus position moves downward.Then the experiment processing and testing were carried out.The experimental results show that a high quality microhole with a diameter of about 330 microns was machined on stainless steel sample by using the method.The new method uses galvo scanning laser drilling systems and spatial light modulator to process microhole,which has a good application prospect in the field of laser processing. |
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来源
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光子学报
,2020,49(8):0814001 【核心库】
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DOI
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10.3788/gzxb20204908.0814001
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关键词
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高损伤阈值空间光调制器
;
飞秒激光
;
微孔加工
;
相位调制
;
焦点控制
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地址
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1.
中国科学院西安光学精密机械研究所, 瞬态光学与光子技术国家重点实验室, 西安, 710119
2.
中国科学院大学, 北京, 100049
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语种
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中文 |
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文献类型
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研究性论文 |
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ISSN
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1004-4213 |
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学科
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电子技术、通信技术 |
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基金
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国家重点研发计划
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文献收藏号
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CSCD:6801747
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参考文献 共
22
共2页
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1.
顾理. 飞秒激光微加工的研究进展.
激光与红外,2013,43(1):14-18
|
CSCD被引
13
次
|
|
|
|
|
2.
何飞. 飞秒激光微加工：激光精密加工领域的新前沿.
中国激光,2007,22(5):595-622
|
CSCD被引
75
次
|
|
|
|
|
3.
Bhuyan M. Single-shot high aspect ratio bulk nanostructuring of fused silica using chirp-controlled ultrafast laser Bessel beams.
Applied Physics Letters,2014,104(2):1-4
|
CSCD被引
16
次
|
|
|
|
|
4.
闫雪亮.
电子动态调控时空整形飞秒激光透明介质微通道加工,2016
|
CSCD被引
2
次
|
|
|
|
|
5.
王仲勋. 长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜.
光学学报,2013,33(2):198-202
|
CSCD被引
2
次
|
|
|
|
|
6.
余金清. 高均匀长工作深度激光整形系统设计.
光电工程,2014,41(8):80-84
|
CSCD被引
4
次
|
|
|
|
|
7.
林勇. 实现长焦深的衍射光学元件设计方法.
大连理工大学学报,2010,50(1):152-156
|
CSCD被引
2
次
|
|
|
|
|
8.
张艳杰. 飞秒激光成丝制备毫米级深孔.
中国激光,2017,44(4):125-134
|
CSCD被引
3
次
|
|
|
|
|
9.
Hermerschmidt A. Holographic optical tweezers with real-time hologram calculation using a phase-only modulating LCOS-based SLM at 1064 nm.
SPIE. 6905,2008:690508
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
10.
Leonardo R D. Computer generation of optimal holograms for optical trap arrays.
Optics Express,2007,15(4):1913-1922
|
CSCD被引
38
次
|
|
|
|
|
11.
马向宁.
使用液晶空间光调制器实现激光束整形,2013
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
12.
Lane P M. Fiber-optic confocal microscopy using a spatial light modulator.
Optics Letters,2000,25(24):1780-1782
|
CSCD被引
3
次
|
|
|
|
|
13.
Matsuda K. Holographic vibration measurements of rough surfaces using a LCSLM.
Optics Communications,2007,275(1):53-56
|
CSCD被引
3
次
|
|
|
|
|
14.
谢志坤. 基于空间光调制的光束聚焦实时反馈控制方法及系统.
激光与光电子学进展,2017,54(7):279-286
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
15.
鲁强. 斜入射下液晶空间光调制器纯相位调制特性研究.
中国激光,2016,43(1):190-196
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
16.
Wu S T. Molecular design strategies for high birefringence liquid crystals.
MRS Proceedings,2002,709:219-228
|
CSCD被引
2
次
|
|
|
|
|
17.
Viadimirov F L. Liquid crystal modulators with improved laser damage resistance.
Proceedings of SPIE. 3682,1998:176-182
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
18.
周庄奇.
高耐受功率液晶光学相控阵器件研究,2015:61-63
|
CSCD被引
3
次
|
|
|
|
|
19.
Gu D. High power liquid crystal spatial light modulators.
SPIE. 6306,2006:630602
|
CSCD被引
2
次
|
|
|
|
|
20.
郁道银.
工程光学,2011:172-185
|
CSCD被引
1
次
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