大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计
Novel Correction Mask for Thickness Uniformity Improvement of Coatings on Large Aperture Aspheric Surface
查看参考文献12篇
|
文摘
|
针对1.2 m 口径天文望远镜非球面主反射镜的镀膜问题,建立了大口径非球面镀膜的膜厚分布模型,使用数值分析的方法计算了非球面镀膜相对于球面镀膜的膜厚分布差异。针对非球面镀膜的膜厚均匀性问题,给出了非球面修正挡板的设计方法。为减少修正挡板的加工成本,提高修正挡板的结构刚度,研究了球面面型挡板用于非球面镀膜的可行性,提出了一种圆周分布式排列的挡板设计方法。结果表明:宽度较窄的分布式挡板能够在避免划伤镜面的前提下更贴近镜面,因而有更好的遮挡效果以达到膜厚均匀性的要求,并且有更低的加工成本、更高的结构刚度,以及能够根据实际情况便捷地进行挡板调整和改造。 |
|
其他语种文摘
|
The thickness distributionof the metal coatings,deposited by vacuum evaporation on the large aperture aspheric surface (1.2m paraboloidalprimary mirror of astronomical telescope) , was mathematically modeled, theoretically analyzed and numerically simulated for design optimization of the correction mask. The simulated results show that the coating's thickness distribution on the paraboloidal surface resembles that on the spherical surface ,though their difference increased with an increase of the aperture radius. For example,the discrepancy was a-bout 0. 2% , indicating the feasibility of spherical masks. A novel type of correction mask,consisting of three rotating narrow spherical lunes, was designed and tested. The results show that the newly-designed correction masks are capable of effectively improving the coatings' thickness uniformity without scratching the paraboloidal surface. Besides ,the strengths of the new correction masks included lower fabrication cost,higher rigidity,easier adjustment and simpler modification. |
|
来源
|
真空科学与技术学报
,2017,37(3):250-254 【扩展库】
|
|
DOI
|
10.13922/j.cnki.cjovst.2017.03.02
|
|
关键词
|
非球面
;
光学薄膜
;
膜厚均匀性
;
修正挡板
;
分布式挡板
|
|
地址
|
中国科学院新疆天文台, 乌鲁木齐, 830011
|
|
语种
|
中文 |
|
文献类型
|
研究性论文 |
|
ISSN
|
1672-7126 |
|
学科
|
物理学 |
|
基金
|
国家自然科学基金资助项目
|
|
文献收藏号
|
CSCD:5950632
|
参考文献 共
12
共1页
|
|
1.
勾志勇. 非球面光学设计技术综述.
激光杂志,2006,27(3):1-2
|
CSCD被引
15
次
|
|
|
|
|
2.
吴伟. 半球形基底镀膜膜厚均匀性理论分析.
真空科学与技术学报,2014,34(4):320-324
|
CSCD被引
6
次
|
|
|
|
|
3.
潘栋梁. 大口径镀膜机膜厚均匀性分析.
应用光学,2001,22(1):33-38
|
CSCD被引
5
次
|
|
|
|
|
4.
高晓生. 行星周转镀膜装置设计.
真空科学与技术学报,2015,35(1):44-48
|
CSCD被引
2
次
|
|
|
|
|
5.
金扬利. 大曲率球形基底表面膜厚均匀性的实现.
真空科学与技术学报,2014,34(4):336-339
|
CSCD被引
4
次
|
|
|
|
|
6.
毕军.
电子束蒸发源镀膜膜厚均匀性的修正方法.中国:CN1718844A,2005
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
7.
Oliver J. Optimization of Deposition Uniformity for Large-Aperture National Lgnition Facility Substrates in Planetary Rotation System.
Appl Opt,2006,45(13):3097-3105
|
CSCD被引
9
次
|
|
|
|
|
8.
Francisco V. Correction Masks for Thickness Uniformity in Large-Area Thin Films.
Appl Opt,2000,39(10):1602-1610
|
CSCD被引
13
次
|
|
|
|
|
9.
方明. 平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究.
真空科学与技术学报,2006,26(4):286-289
|
CSCD被引
9
次
|
|
|
|
|
10.
王长军. 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正.
强激光与粒子束,2007,19(7):1153-1157
|
CSCD被引
10
次
|
|
|
|
|
11.
张立超. 基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计.
光学精密工程,2013,21(11):2757-2763
|
CSCD被引
6
次
|
|
|
|
|
12.
Sassolas B. Masking Technique for Coating Thickness Control Lon Large and Strongly Curved Aspherical Optics.
HAL,2009:1-26
|
CSCD被引
1
次
|
|
|
|
|
了解气象卫星更多信息，请访问