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基于相位恢复的光学元件面形检测技术研究
Testing optical surface with phase recovery

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范琦 1   王云飞 1   杨百愚 1   杨鸿儒 2   黎高平 2   姜昌录 2  
文摘 利用标量衍射的角谱理论,研究了基于两幅光强分布的相位恢复算法,并将此算法应用到光波的波前及光学元件面形的检测中。实验研究了球面光波波前的相位恢复及面形检测,给出了恢复波前与理想波前之间的偏差,采用求Zernike系数的广义逆矩阵的方法,用程序实现了光学元件面形的Zernike拟合。
其他语种文摘 Using the angular spectrum theory of scalar diffraction, the phase retrieval algorithm with two intensity patterns was carried out, and was used to test the optical surfaces and wave-fronts. The wavefronts of the spherical wave surfaces were retrieved by the algorithm in experiment. The algorithm of wavefront fitting based on the Zernike polynomials was realized with computer programmer by calculating generalized inverse matrix of Zernike coefficients.
来源 应用光学 ,2015,36(2):242-246 【核心库】
DOI 10.5768/jao201536.0203001
关键词 角谱理论 ; 相位恢复 ; 面形 ; Zernike拟合
地址

1. 空军工程大学理学院, 陕西, 西安, 710051  

2. 西安应用光学研究所, 陕西, 西安, 710065

语种 中文
文献类型 研究性论文
ISSN 1002-2082
学科 电子技术、通信技术
基金 陕西省自然科学基金
文献收藏号 CSCD:5399720

参考文献 共 14 共1页

1.  Brady G R. Measurement of an optical surface using phase retrieval,2006 CSCD被引 2 次    
2.  Brady G R. Improved optical metrology using phase retrieval,2006 CSCD被引 1 次    
3.  Brady G R. Measurement range of phase retrieval in optical surface and wavefront metrology. Appl. Opt,2009,48(3):442-449 CSCD被引 6 次    
4.  姜昌录. 相位恢复算法用于光学面形检测的实验研究. 应用光学,2011,32(6):1193-1196 CSCD被引 4 次    
5.  曾发. 一种可对复杂光场进行相位恢复的算法. 中国激光,2006,33(3):339-342 CSCD被引 11 次    
6.  李圣怡. 大镜面在位检测中的相位恢复技术研究. 光子学报,2009,38(2):365-370 CSCD被引 2 次    
7.  Fienup J R. Hubble space telescope characterized by using phase-retrieval algorithms. Appl. Opt,1993,32(10):1747-1767 CSCD被引 20 次    
8.  Dean B H. Phase retrieval algorithm for JWST flight and testbed telescope. SPIE, 6265,2005:626511 CSCD被引 1 次    
9.  吕乃光. 傅里叶光学,1998:55-68 CSCD被引 1 次    
10.  李俊昌. 信息光学理论与计算,2009:40-43 CSCD被引 2 次    
11.  孙学真. 抽样点对基于Zernike多项式曲面拟合精度的影响. 光学仪器,2008,30(4):6-10 CSCD被引 4 次    
12.  单宝忠. Zernike多项式拟合方法及应用. 光学精密工程,2002,10(3):318-323 CSCD被引 70 次    
13.  刘剑峰. 基于泽尼克多项式进行面形误差拟合的频域分析. 光学学报,2005,25(8):1062-1066 CSCD被引 10 次    
14.  Chang Liping. Wavefront fitting of interferogram with Zernike polynomials based on SVD. SPIE, 6150,2006:61500G CSCD被引 1 次    
引证文献 4 篇

1 张湧涛 电光材料调制误差对平行光束干涉投影的影响 应用光学,2016,37(2):235-239
CSCD被引 2 次

2 王一 光学相控器件调制误差对干涉投影条纹的影响 激光与红外,2016,46(7):852-856
CSCD被引 3 次

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